Industrija elektronike in polprevodnikov
Polprevodniški plini se uporabljajo v vseh fazah izdelave – od priprave posameznega silicijevega kristala do vsakega koraka v procesu obdelave: (oksidacije, depozicije kemijskih hlapov, brizganja, zaščite, jedkanja, toplotne difuzije in ionske implantacije).
Okoljski predpisi so spodbudili številne proizvajalce elektronike, da so prešli na spajkanje brez čiščenja v nadzorovani atmosferi, s čimer so izboljšali tako spajkanje kot tudi donos, obenem pa povečali procesno okno. Od spajkanja v nadzorovani atmosferi do preskušanja pri nizkih temperaturah, priprave komponent in nadzora pH v odpadni vodi podjetje ISTRABENZ PLINI pomaga proizvajalcem pri realizaciji izboljšav procesa ter nudi zanesljive in inovativne oskrbovalne sisteme, ki ohranjajo njihovo produktivnost in konkurenčnost.
Aplikacije plina pri izdelavi polprevodnikov
Zanesljiva oskrba s plini visoke čistosti je ključnega pomena za napredno izdelavo polprevodnikov. Izdelava integriranega vezja zahteva več kot 30 različnih procesnih plinov za aplikacije jedkanja, depozicije, oksidacije, dopiranja in inertiranja. Obseg uporabljanih plinov je večji kot v kateri koli drugi industriji. Izmeriti in odstraniti je treba sledi nečistoč v koncentracijah delcev ppm (part per milion), ppb (part per bilion) oz. celo ppt (part per trilion).
Polprevodniške procesne pline delimo na:
- plini za depozicijo silicija,
- pline za dopiranje,
- pline za jedkanje,
- atmosferske (zaščitne) pline,
- pline reaktante
Kontakt:
Ksenija Baruca Okretič
vodja programa specialni plini
ksenija.baruca.okretic@istrabenzplini.si
Tel.: 05 66 34 607